广东省大湾区集成电路与系统应用研究院面向FDSOI的计算光刻关键技术开发采购项目单一来源采购公示

一、项目信息

采购人：广东省大湾区集成电路与系统应用研究院

项目名称：广东省大湾区集成电路与系统应用研究院面向FDSOI的计算光刻关键技术开发采购项目

拟采购的货物或者服务的说明：

拟采购的货物或服务的预算金额：150.0000000 万元（人民币）

采用单一来源采购方式的原因及说明:

（1）本项目拟委托中国科学院微电子研究所进行面向FDSOI的计算光刻关键技术开发，具体内容如下:
      （1）开展面向1X纳米FDSOI的测试版图设计及优化技术研究；
      （2）面向1X纳米FDSOI的光源掩模协同优化技术研究。

    面向FDSOI的计算光刻关键技术开发应达到的具体指标及参数，如下:
      （1）面向1X纳米FDSOI的SMO测试版图：覆盖1X纳米FDSOI的SMO测试版图需求；
      （2）适用于1X纳米FDSOI的关键层SMO流程：覆盖1X纳米FDSOI的关键层SMO需求；
      （3）适用于1X纳米FDSOI的关键层优化光源方案：关键层的DOF不小于80nm@5% EL。

    经调研，本项目研究内容中的SMO和SO快速算法开发与对比验证需要建立光刻系统模型与包括OPC处理的全工艺流程验证，该流程包含对实际工业化生产经验的掌握、生产数据的处理与筛选、高效的优化算法研发与验证等几个方面。中科院微电子研究所通过以往的相关项目研发已经掌握了必备的生产经验、硅片数据的处理和筛选方法，能够提供面向计算光刻模型和OPC优化方法的技术服务。
    在国内计算光刻领域，中科院微电子研究所对计算光刻模型和OPC方法进行了深入研究，研究成果多次发表在Optics Express、Applied Optics、J. Micro/ Nanolith. MEMS MOEMS等业界高水平学术期刊上，具备丰富的自主知识产权，包括专利，软件版权等。相比于国内其他相关团队，该团队的优势体现在以下方面：
     （1）深厚的技术积累。中科院微电子研究所提出了基于机器学习的快速厚掩模衍射成像模型，相比严格的电磁场仿真方法，能够将计算速度提升几个数量级；提出了基于边界层的厚掩模快速模型，可以用于提高薄掩模OPC的成像误差补偿精度；提出了基于梯度算法的OPC优化方法，可以有效提高光刻系统的成像精度；提出了基于机器学习和神经网络的快速OPC方法，可以将现有OPC技术的计算速度提升几倍至1个数量级，同时提高掩模的可制造性，或进一步提高光刻系统的成像质量。
    （2）技术契合度更高。中科院微电子研究所长期从事计算光刻建模和OPC技术方面的工作，深刻掌握了光刻成像系统建模技术和掩模优化技术在先进光刻仿真领域中的具体应用方法，具备了将普适数据处理方法与光刻仿真紧密结合的技术研发能力。在光刻的光源优化和掩模近场模型方面，中科院微电子研究所已经与国内产业界其它先进企业展开过深入合作，取得了斐然的成果。
    （3）更有效的沟通与交流。中科院微电子研究所对本技术服务内容有很高的支持度，可以保持高频率的面对面技术交流，可有效降低交流成本，缩短技术转移的周期，便于质量控制。
   
    基于上述原因，且为进一步做好研发和试生产、生产的工作，满足采购人的需求，且目前国内无其他供应商能满足需求，本项目拟采用单一来源采购方式进行采购。

（2）各专家对相关供应商因专利、专有技术等原因具有唯一性的具体论证意见，专家的姓名、工作单位和职称：

专家1：姓名 刘喜荣 工作单位 北京市食品研究所 职称  高工 意见： 同意

专家2：姓名 蒋秀高 工作单位 中国CDC传染病所 职称 研究员 意见： 同意

专家3：姓名 李雪红 工作单位 林业产业规划设计院  职称 高工 意见： 同意

（3）专家小组综合意见：

该项目采购之面向FDSOI的计算光刻关键技术开发，经市场调研，满足采购人技术需求的供应商只有一家，为满足采购人的科研需求，建议使用单一来源采购方式进行。

二、拟定供应商信息

名称：中国科学院微电子研究所

地址：***

三、公示期限

2021年05月18日  至  2021年05月25日

四、其他补充事宜：

1. 合格的供应商：

1. 符合&“《中华人民共和国政府采购法》第二十二条要求&”；
2. 在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的法人实体；
3. 为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；
4. 投标单位负责人***
5. 按本投标邀请的规定获取单一来源文件；
6. 本项目不接受联合体投标；
7. 投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。

1. 单一来源采购文件下载地点：

地点：www.o-science.com

1. 单一来源采购项目响应文件递交时间及地点：

时间：2021年5月31日下午14:30（北京时间）

地点：广州市越秀区先烈中路100-67号楼14楼自编1401-1402（中科院创新大楼A座）

1. 单一来源采购协商时间及地点：

时间：2021年5月31日下午14:30（北京时间）

地点：广州市越秀区先烈中路100-67号楼14楼自编1401-1402（中科院创新大楼A座）

1. 采购代理机构名称：东方国际招标有限责任公司

详细地址：***

邮编：100081

联 系 人***

电    话：020-87001523      

传    真：010-68290525

邮    箱：ytlin@oitc.com.cn

1. 采购单位联系方式***

采购单位：广东省大湾区集成电路与系统应用研究院

采购单位地址：***

采购单位联系方式***

五、联系方式***