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热蒸发镀膜系统（XF-WSBX-2100155）采购公告
- 信息发布日期：2021.04.19 标签： 浙江省招标
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加入日期： 2021.04.19 招标业主： 浙江大学 地 区： 浙江省 内 容： 项目名称热蒸发镀膜系统项目编号XF-WSBX-******* 公告开始日期****-**-** **:**:**公告截止日期****-**-** **:**:** 采购单位****付款方式货到付款。境内供货的，甲方在到货验收后**日内向乙方一次性支付本项目的总款项。 境外供货需要由甲方办理进口减 -
招标公告正文
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项目名称 热蒸发镀膜系统 项目编号 XF-WSBX-2100155 公告开始日期 2021-04-19 17:30:00 公告截止日期 2021-04-26 19:00:00 采购单位 浙江大学 付款方式 货到付款。境内供货的，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总款项。 境外供货需要由甲方办理进口减免税业务的，也必须以人民币报价，且包含货送到用户指定实验室前的所有费用。甲方指定的外贸代理公司在甲方到货验收后15日内向乙方指定的外方公司一次性支付款项。支付方式在《技术参数及配置要求》栏内另有约定的，从其约定。 联系人*** 中标后在我参与的项目中查看 联系电话*** 中标后在我参与的项目中查看 签约时间要求 成交后15天 到货时间要求 成交后60天 预 算 ￥ 290,000.00 收货地址 浙江大学海宁国际校区 供应商资质要求 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件采购清单1采购商品 采购数量 计量单位 所属分类 热蒸发镀膜系统 1 台 电工器材 预算 ￥ 290,000.00 技术参数及配置要求 真空系统
1. 真空腔室、连接管道和所有法兰均采用优选的SUS304不锈钢，材料致密放气量小；真空腔室为D型圆筒形，尺寸：Φ450×H450mm；前门带观察窗，接抽气接口管道直径DN150mm，抽气口带粗过滤防止大物掉落；腔体内部安装加热板，对腔体可以进行烘烤，最高加热温度100度；腔体漏率小于1.0×10-10Pa/m3/s；腔体内外表面电解抛光处理。
2. 真空机组采用复合分子泵配合直联旋片泵作为真空抽气系统；分子泵：对氮气抽速大于600L/s；机械泵：抽速：6L/s；极限真空：小于6.7E-5Pa恢复真空速度：用氮气破空，从大气至6.7E-4Pa时间小于45分钟。
3. 真空测量采用国产复合真空计，测量范围从大气开始，到1.0E-5Pa；
4. 带有膜厚监测系统
金属热蒸发单元
1. 配置2组金属热蒸发源，热蒸发电极材料：紫铜
2. 电极带水冷
3. 两个电极中心间距不小于80mm
4. 可蒸发低熔点金属
5. 配置2台10V200A金属热蒸发电源
有机蒸发单元
1. 配置1组有机蒸发源，含电源，用于蒸发有机物
2. 加热温度大于500℃，控温精度±1℃
？ 样品台：
1. 可装载6英寸样品
2. 样品台旋转：转速0-25rpm连续可调
3. 样品台升降，通过步进电机精确控制升降距离。最大行程10cm
4. 样品台需通水冷
？ 控制单元：
控制系统采用触摸屏连接PLC控制触摸屏控制内容：
1）机械泵，分子泵，前级阀，放气阀，预抽阀，充气阀的开关，并在控制界面有状态显示。
2）完备的互锁系统，包括预抽阀与前级阀的互锁；放气阀与插板阀的互锁；气压到大气以后自动关闭放气阀。
3）所有的温度显示，包括腔体加热温度和有机蒸发源加热温度，并可以设置加热斜率，并在触摸屏上显示加热曲线。
4）可以显示抽气曲线，并显示抽气时间。
5）可以控制各个挡板，并在控制界面有状态显示
6）可以在报价界面显示各类报警。
7）急停为物理按钮，按下可关闭插板阀，分子泵，以及关闭所有电源。
8）可以实现自动抽真空，自动停机功能；售后服务 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务年限:1;服务时限:报修后24小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品; 报价网址:http://www.zupc.zju.edu.cn浙江大学2021-04-19 17:30:00
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客户咨询:400-633-1888 信息发布电话:13030031390 传真号码:010-59367999 总部地址:北京市海淀区中关村大街11号7层(100190)
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