聚合物分子层沉积系统采购采购公告

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技术规格及参数

1 腔体与框架
1.1反应腔体应采用耐高温腐蚀的材料316L型不锈钢，经过表面抛光处理，可抗高温腐蚀。
1.2 为避免有机薄膜与无机薄膜管路的交叉污染，要求反应腔体内有两个完全独立的进气口，无机薄膜沉积的进气管路与有机薄膜沉积的进气管路相互独立。如有需要，用户可要求实地验证。
1.3样品尺寸：单片最大可达6英寸，厚可达8mm。
1.4 所有反应物输运管路壁控温，可加热到200℃，确保管路没有反应物冷凝，避免由于冷凝破坏表面反应机制，导致CVD式反应薄膜不均匀、交叉污染、堵塞纳米孔洞入口、颗粒等问题。
1.5 样品加热最高温度：400℃
1.6反应物采用侧向流模式，采用双向进气与双向出气方式，呈正方形分布在基片四周，确保反应物均匀与基片接触，确保薄膜均匀。
1.7产品具有连续沉积与停留沉积模式，根据反应进程的快慢选择，确保反应充分。
1.8 腔体盖子的开启采用先按再抬起的模式打开，镀膜时按下并用螺丝锁紧，确保快捷与安全。
1.9 带红黄绿预警灯，紧急关机按钮，确保设备与人员安全。
1.10 设备带可移动轮脚，方便用户移动设备，并可锁死。
1.11 设备触摸屏控制系统与设备框架一体化，方便用户操作。
2 反应物输运管路、脉冲系统与反应物容器
2.1 可配备6套脉冲系统，将来可升级。
2.2 管路必须配置质量流量控制器（MFC）、温度传感器、压力传感器、脉冲阀。
2.3 N2气或Ar作为载气，连接到输运管路上，用于反应物蒸汽的快速输送并清洗管路。源管路采用316L型不锈钢材料，内抛光，所有连接接头均采用金属密封。
2.4 PMLD脉冲阀，国际知名品牌，品牌Swagelok。响应时间15 ms，寿命30,000,000次脉冲，电脑控制。
2.5 高精度气体质量流量计，量程为200sccm，控制精度为±1%，工作温度为室温。
2.6 管路温度：室温～200℃，控制精度±1℃；容器加热温度：室温～200℃，控制精度±1℃，容器为AISI 316L不锈钢材料，容积100 ml，配置手动隔离阀。
3 真空泵
干泵，泵极限真空：3Pa，抽速速率：30L/s
4 软件系统
4.1 为方便操作与监控工艺参数，采用触摸屏电脑控制，自动工艺控制软件，具备工艺参数实时监控显示功能，带系统互锁和设备急停功能。
4.2 软件可预设各种实验配方设计与储存、读取，能够输出实验数据。
4.3 设备具有沉积有机单分子层，同时具有沉积有机-无机杂化单分子层薄膜的功能，随机附带工艺配方，可以沉积Al-EG(HQ, alucone)、Ti-EG(HQ, Tincone)、Zn-EG(HQ, zincone)、聚酰胺(polyamide)、聚酰亚胺(Polyimide)、聚脲(polyurea)。需提供相应的实验数据或文献证明材料。
5 电源
适用于380或220V（±10％），50Hz供电电源。配置符合中国有关标准要求的电源插头或提供适当的转换插座。
6 所响应产品必须是全新，未使用过的原装合格正品（包括零部件），如需安装或配置软件，须为正版软件。

售后及质保要求

1.质保期：中标人提供制造商免费质保【1】年。
2.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人***