ZSDCS2021-021控制学院紫外光刻机校内磋商公告_招标网

ZSDCS2021-021控制学院紫外光刻机校内磋商公告

信息发布日期：2021.04.02 标签：山东省招标光刻机招标

加入日期：	2021.04.02
截止日期：	2021.04.07
招标业主：	中国石油大学(华东)
地区：	山东省
内容：	********控制学院紫外光刻机校内磋商公告编号：ZSDCS-中国石油大学（华东）依据学校管理规定，并参照《中华人民国招标投标法》及其他相关法规，就下述采购项目进行校内磋商采购，欢迎符合条件的合格供应商参加。一、采购人：中国石油大学（华东）二、采购人地址：省**
关键词：	光刻机

招标公告正文

中国石油大学(华东)控制学院紫外光刻机校内磋商公告编号：ZSDCS2021-021中国石油大学（华东）依据学校管理规定，并参照《中华人民共和国招标投标法》及其他相关法规，就下述采购项目进行校内磋商采购，欢迎符合条件的合格供应商参加。
一、采购人：中国石油大学（华东）
二、采购人地址：***
三、本次采购内容如下：名称：控制学院紫外光刻机数量：1套预算：45万元技术要求：详见附件。
四、资格要求1.供应商必须具有标的物的制造或合法的供货能力（进口产品必须取得生产厂家针对本项目的授权），具有履行合同和售后服务能力。
2. 供应商须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的相关规定。
3. 供应商未被列入“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）“失信被执行人”、“重大税收违法案件当事人名单”、“政府采购严重违法失信名单”；不处于中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间。
4.本项目不允许联合体参加。
五、采购文件的获取1. 供应商应先进入中国石油大学（华东）采购与招标办公室主页（https://zbb.upc.edu.cn），点击右上角“供应商登录”，再点击“微信登录”或“账户登录”，按系统提示进行登记注册，注册后拨打
4001010335进行审核，审核通过后点击采购公告下方的“我要报名”，填写真实准确报名信息后提交。报名缴费时选择“在线支付”方式，缴费成功后依据系统提示下载采购文件。注：如有问题可咨询0532-86983188（汤老师）。
2.报名起止时间：2021年4月2日--2021年4月7日下午17:00前。
3.工本费:100元（售后不退，未购买采购文件的供应商不具备参加磋商资格。如需开具发票，请于交费后一周内到财务处收入管理科领取。）
六、响应文件提交起止时间、地点提交起止时间：2021年4月13日14:00-14:30（北京时间）。提交地点：中国石油大学（华东）西北门门口（体育馆门）。提交方式：供应商必须于响应文件提交截止时间前派授权代表凭本人身份证原件并持法定代表人授权委托书提交响应文件，逾期不再受理，传真、邮寄等方式提交的响应文件概不接收。
七、磋商时间：2021年4月13日15:00（北京时间）磋商地点：中国石油大学（华东）行政办公楼0921室。
八、保证金：本项目不需要缴纳保证金。
九、联系方式：项目联系人***
师联系电话0532-86981699汤老师联系电话0532-86983188邮箱：zhaobiao@upc.edu.cn采购与招标办公室网址：http://zbb.upc.edu.cn采购监督电话：***
采购与招标办公室2021年3月31日具体要求
一、功能及用途要求半导体材料和微纳器件方面的研究，对于制做这些器件图形，已经在电子器件、材料、以及其他诸多应用中展示出了重要的先进性能。将基板和光罩对位后将光罩上的图形转印到基板上，精密三维控制台能够和图形化制作这些材料和器件的设备配合使用。
二、技术要求★ 2.1 UV LED2.1.1波长：365um2.1.2光源：最大23 mW/cm22.1.3使用寿命10000小时2.1.4电源供应器：*1)有专用电源线给光源与UV LED供电；可实现电子快门功能，和功率0-100%准连续调节2)与灯源需为同一品牌
2.2 光源系统：2.2.1主波长：i-line 365nm2.2.2照度：≧20mW/cm2(i-line)2.2.3均匀性：4 inch ≦±2%，6 inch ≦±3%2.2.4曝光范围：6.25 inch Round2.2.5曝光模式：Proximity Soft ContactHard Contact Vacuum Contact2.2.6分辨率：Vacuum Contact: ≤ 1.0 μm(or better)Contact mode: ≤ 2.0 μm(or better)Proximity mode:≤ 5.0 μm2.3 对位载台
2.3.1X和Y轴移动行程：+/- 5 mm2.3.2X和Y轴分辨率：0.1um2.3.3Theta轴移动行程：+/- 4 degree2.3.4Theta轴分辨率：5 x 10^-5 degree2.3.5基板尺寸：4 inch Round
2.3.6光罩尺寸：5 inch Holder2.4 Z轴间隙设定：2.4.1范围：0-1000um2.4.2分辨率：0.1um2.5水平自动平整校正(WEC, Wedge error Compensation)装置功能：
2.5.1WEC自动补偿2.5.23轴驱动使晶圆驱动补偿及WEC补偿控制2.5.3光罩和晶圆使用间隔球，防止光罩受损*2.6 CCD对位平台2.6.1X轴移动距离：-70mm(to front)/+70mm(to rear)2.6.2Y轴移动距离：-70mm(to front)/+70mm(to rear)*2.7 CCD规格2.7.1Total Magnification(1/3" CCD Chip)：80x-900x2.7.2Field of View (FOV) (1/3" CCD Chip)：0.60mm-6.00mm2.7.3对准精度：+/-1um
三、附件、备件和消耗品*3.1 LED紫外灯，内置于主机，寿命10000小时。3.2 掩模版夹具，一套。
3.3 空压机，一台（国内配置）。*3.4 对位显示器，一套3.5 真空泵，一套。
四、技术服务4.1 供应商必需在使用者的实验室内安装调试仪器直至用户认可仪器符合技术性能为止。
4.2 仪器在调试通过后必须有12个月的保修期。
4.3 供应商必须为买方两位人员提供至少2-3天的培训时间，培训内容包括仪器的基本原理、操作及一般仪器维护保养知识。
4.4 制造商在国内的技术服务中心（包括维修中心）应当提供所有的服务包括备用零件及消耗品（以人民币结算）。
报名地址:***

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