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单腔热型原子层沉积机（ZBZXJJ20210076）采购公告
- 信息发布日期：2021.03.29 标签： 四川省招标
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加入日期： 2021.03.29 截止日期： 2021.04.01 招标业主： 四川大学 地 区： 四川省 内 容： 项目名称单腔热型原子层沉积机项目编号ZBZXJJ******** 公告开始日期****-**-** **:**:**公告截止日期****-**-** **:**:** 采购单位****付款方式进口设备： 甲方与所委托的进口代理公司签订代理进口委托协议后，将进口项目货款支付给代理公司指定的银行账户 -
招标公告正文
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项目名称 单腔热型原子层沉积机 项目编号 ZBZXJJ20210076 公告开始日期 2021-03-29 15:54:08 公告截止日期 2021-04-01 16:00:00 采购单位 四川大学 付款方式 进口设备： 甲方与所委托的进口代理公司签订代理进口委托协议后，将进口项目货款支付给代理公司指定的银行账户，项目货款仅用于本进口项目的信用证或TT付汇及进口相关费用等。进口代理公司收到甲方合同货款后，按外贸合同要求及时履行与乙方委托的境外代理公司的付款义务。 国产设备：甲方应在完成验收并建立固定资产后向乙方一次性支付本合同的总款项，乙方须向甲方出具合法有效完整的完税发票及凭证资料进行支付结算。 联系人*** 中标后在我参与的项目中查看 联系电话*** 中标后在我参与的项目中查看 签约时间要求 到货时间要求 成交后45个工作日内 预算总价 ￥ 360000.00 收货地址 四川大学望江校区一环路南一段24号 供应商资质要求 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件采购清单1采购商品 采购数量 计量单位 所属分类 单腔热型原子层沉积机 1 台 其他特种设备 品牌 科民电子 型号 TALD-150R 预算单价 ￥ 360000.00 技术参数及配置要求 1 设备名称：单腔热型原子层沉积机
2 主要功能：与现有手套箱集成，用于原子层沉积沉积氧化物、单质薄膜如氧化铝、氧化锡、氧化锌等。应用于薄膜太阳能电池、发光材料和器件等光电器件的制备，锂离子电池研发及生产、物理化学研究 、催化剂研究、材料处理 、半导体、MEMS等行业。
3. 主要技术参数及要求
*3.1 反应腔体结构：上腔盖采用外置加热，样品台采用加热盘加热，真空漏率＜5E-7 Pa·L/S；6系或7系进口铝材阳极氧化或304/316LEP级不锈钢制成。
3.2 样品区最大可放置直径6英寸样品，兼容小尺寸样品，反应温度最高400℃，温度控制精度±1℃；
3.3 标准加热液态前驱体源3路，配置swagelok高温快速ALD阀（响应时间＜10ms）、手动阀、50ml不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度RT-200℃，控制精度±1℃；
3.4 常温源1路，配置swagelok快速ALD阀（响应时间＜10ms）、手动阀、100ml水源瓶；
*3.5 臭氧系统1路，集成水冷氧气源臭氧发生器，臭氧产量＞10g/h，浓度＞100mg/L。
3.6 含两路载气系统，一路对应氧源（水、臭氧）；一路对应金属MO源；swagelok管路+VCR密封，前驱体源管路具有在线清洗功能；
3.7 高性能真空系统，整机极限真空＜5E-3Torr，真空漏率＜5×10-7 Pa·L/S;
*3.8 配置高性能真空油泵，额定抽速＞16 m3/h；真空泵前级配置热阱，加热温度最高500℃，控制精度±1℃，用于吸附、分解未反应的前驱体源；
3.9 配置美国MKS压力传感器（真空计），测量范围5E-5Torr-大气压，精度满量程的±1%；
*3.10 配置科民电子TALD-R主机，整机模化块设计，高精度PLC+工控机沉积自动控制系统，满足高精度ALD沉积需求；
3.11 图像化的操作界面，实时显示系统各部分运行状态，可方便的调节温度、流量、脉冲时间等参数；
3.12 三级用户权限分配，软硬件互锁，异常报警、紧急停机等功能确保安全性；
3.13 能够存储工艺配方，具有运行状态历史记录功能；
3.14 沉积模式：连续模式、停流模式，均可全自动运行；
*3.15 人机界面：集成在手套箱净化柱箱体上；
3.16 真空计前设有保护真空计的高效过滤网以及气动隔膜阀；
*3.17 手套箱可以集成在用户单工位手套箱上。
3.18 在 6 英寸晶圆上沉积 1000 循环氧化铝，以晶圆上至少 5 个均匀分散点（上、下、左、右、中心 5 点，每两点间距不小于 15 毫米）进行膜厚测试，膜厚标准偏差≤±1%为合格
4 交货时间：四川省成都市四川大学望江校区，合同生效后45个工作日以内。
5 付款方式：货到验收通过后付全款售后服务 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:两年; 四川大学2021-03-29 15:54:08
报名地址:***
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客户咨询:400-633-1888 信息发布电话:13030031390 传真号码:010-59367999 总部地址:北京市海淀区中关村大街11号7层(100190)
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