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PVD 薄膜沉积系统（FJNU-JJ-210002）采购公告

信息发布日期：2021.01.05 标签： 福建省招标 
加入日期：2021.01.05
截止日期：2021.01.08
招标业主：福建师范大学
地 区：福建省
内 容：项目名称PVD 薄膜沉积系统项目编号FJNU-JJ-****** 公告开始日期****-**-** **:**:**公告截止日期****-**-** **:**:** 采购单位******付款方式货到验收合格付清全款 联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看 签约时
 
招标公告正文
项目名称 PVD 薄膜沉积系统 项目编号 FJNU-JJ-210002
公告开始日期 2021-01-05 11:37:43 公告截止日期 2021-01-08 12:00:00
采购单位 福建师范大学 付款方式 货到验收合格付清全款
联系人*** 中标后在我参与的项目中查看 联系电话*** 中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求 成交后15日内 到货时间要求 成交后90个工作日内
预算总价 ￥ 375000.00
收货地址 福建师大旗山校区理工3号楼
供应商资质要求
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
采购清单1
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
PVD 薄膜沉积系统 1 套 其他仪器
品牌 杭州大华
型号 MiniLab-30
预算单价 ￥ 375000.00
技术参数及配置要求 1、工作条件
工作温度：10～40摄氏度
用电要求：208-230VAC，30A，单相
场地要求：仪器长度不超过2米，宽度不超过2米
2、镀膜腔室
﹡镀膜腔室：Φ350mm×450mm（H）不锈钢D形腔体。前开门采用铰链式
﹡腔体材质：SUS304 不锈钢
﹡前门配有Φ80观察窗，带独立挡板和电磁屏蔽罩
﹡腔体外置LED照明灯，通过CF35观察窗引入。
﹡腔体水冷设计
3、加热基片台
﹡ 样品台可承载最大4 英寸样品，采用步进电机控制旋转，磁流体密封，可在5-30RPM的范围内转动，带转速显示；
﹡ 样品台可加热，可在氧气环境下加热，室温～500℃，PID控制，带TC输入，过温保护，控温稳定性≤±1℃；
﹡基片台可加直流负偏压，基片台与腔体采用绝缘隔离设计。
4、真空抽气系统
复合分子+旋片泵组成的高真空系统
双极旋片泵： 最高抽气速度：20m3/h
分子泵： 抽气速率：600L/S；
主抽阀： 超高真空气动插板阀（口径DN160）配气体节流阀门。
阀门：KF40气动控制前级/旁路阀、DN6电磁放气阀；管道、波纹管材质：SUS304不锈钢；
真空测量：数显复合真空计 测量范围：1×105～1×10-5Pa；
5、溅镀靶枪系统
﹡2英寸磁控溅射靶磁路模块化设计，方便不同应用随时更换，磁场不泡水，长阴极寿命； 数量：3套
磁控溅射靶枪角度可调，
磁控溅射靶枪到基板距离5～11cm 可调；
磁控溅射靶枪配独立气动挡板
独立水流量传感器监控靶枪水冷
靶材直径为50.8 mm(2”)，非磁性1-6mm厚， 采用间接水冷镀膜方式，由下往上溅镀；
6、溅射电源
射频电源：功率300W，输出频率：13.56MHz±0.005%，全自动匹配 数量：2台
直流溅射电源：最大输出功率：500W；输出电压：0～-800V可调 数量：1台
速率/膜厚监测仪：水冷单探头，监测厚度范围：1？～999999？， 分辨率1？；监测速率范围：0.1？～9999.9？./s，分辨率0.1？
7、工艺气路
质量流量控制器：3路；
前端带电磁截止阀和过滤器，后端配有混气室；
8、气路系统
气体压力传感器，用于气体压力不足报警 气路分配单元，用于各阀门之间分气使用，
超静音无油空压机 1台
9、水路系统
水排：SUS304不锈钢，5进5出，保障循环供水到每个水冷部件；
水压继电器，总进水采用水压继电器检测供水及水压状态，执行异常报警
工业水冷机：数量：1台
标准制冷量：3.42 kw 输入功率：1.41 kw
闭合流量＞3.5L/min，断开流量＜1.4L/min，压缩机功率：0.95kw，
具有压缩机过热，过流，高低压力，超温，流量，相序，排气过热保护，
水温范围5-35℃，控温精度±1℃。
10、电气控制：
电气控制系统采用PLC+液晶屏控制方式，以方便用户进行镀膜工艺参数的摸索；
控制内容：
a)、真空系统自动运行及过程逻辑安全保护；
b)、系统保护：阀门逻辑互锁保护，分子泵保护，缺水报警保护，设备过流过压保护，急停保护；
c)、数显：真空状态显示、分子泵工作状态显示、真空泵阀工作状态显示。
安全保护措施：
高压保护：所有引线端子处设有屏蔽外壳并高压标识；
断电保护：程序设定非正常停机放气阀不开启；
手动急停按键：在人为发现问题时，可手动急停设备，位于电气控制柜上。
整体碳钢焊接机架，表面喷塑、配门、底下配脚轮，方便移动、定位。
配置物联网+软件服务系统：程序兼容安卓和IOS系统，须提供二维码识别，可进行信息采集、数据下载、售后服务线上报修等；
11、系统性能指标：
﹡极限真空度优于6.7×10-5Pa； (空载经烘烤除气后）
﹡恢复真空：从大气抽至6.7×10-4Pa≤45min（充入干燥氮气、短时间暴露大气开始抽气）
﹡真空室漏率：关机12小时真空度≤10Pa。（新设备空载）
﹡镀膜均匀性：3英寸范围内薄膜厚度均匀性优于± 5%；

12、售后服务：
1、产品质保期为一年； 质保期内设备的维修免费；
2、质保期内由于设备本身原因而引起的零配件（易损件除外）的更换，其费用由供应商承担；
3、维修技术人员必须于48小时内，赶到技术服务现场；
4、对于质保期以外设备的维护，所有配件、备件质保期外可长期按成本价及时提供。
售后服务 服务年限:质保期一年;质保期内设备的维修免费;
2021-01-05 11:37:43

报名地址:***
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