超高真空互联管道系统采购项目需求公示

项目名称

超高真空互联管道系统

采购预算（元）

570万

是否接受进口设备

否

序号

设备名称

数量

单位

1

超高真空互联管道系统

1

套

序号

商务需求

1

交货期的要求：签订合同后180天内，具体时间根据学校要求提前10天通知送货。

2

质保期：2年。

3

付款方式：合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30%作为进度款；设备到达指定安装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的65%；余款5%待质保期满且无质量问题并经学校确认后支付。

序号

设备名称

技术参数或功能要求

1

超高真空互联管道系统

1.1除进样室外，真空管道极限真空度：≤2×10-10 Torr； 工作真空度：≤6×10-10 Torr。

1.2真空检漏漏率：≤5×10-11 Torr.L/S。

1.3小车运行速度0～3 m/min可调，小车定位准确、重复性好、运行平稳。

1.4小车单次运送样品数量3个2英寸样品，可以放置若干个小样品。

1.5系统有定位样品和小车的功能。

1.6传输室 （2套）

（1）传输室组成

传输室由传输室、样品传输系统、光电定位机构、真空获得与真空测量系统、机架、烘烤照明系统等组成。通过定位装置对各个工位进行定位，并识别所要传输的样品，使传输的样品与工位匹配，并将对应的样品准确传送到各个相应的工位。

（2）传输室性能参数

1）极限真空：≤2×10-10 Torr；工作真空度：≤6×10-10 Torr。

2）真空检漏漏率：≤5×10-11 Torr.L/S。

3）小车运行速度0～3 m/min可调，小车定位准确、重复性好、运行平稳。

（3）传输室结构

样品传输室尺寸约Ф150mm，长度约3000mm，腔体为卧式放置，室壁开有各种相关规格的法兰接口，腔体直线度小于2.7mm，法兰平行度为0.1 mm，腔体采用316L优质不锈钢材料制造，氩弧内焊焊接，内外表面采用特殊工艺抛光处理，表面均匀一致，各法兰均采用无氧铜密封。

样品传输系统包括安装于真空腔体内的轨道、样品小车动力装置以及样品和小车定位标识装置等，每个传输室都有一套样品传输系统，负责将样品小车以及车上样品进行标识并对相应的工位进行匹配，从而将样品传送到指定的工位，并能实现样品小车和设备样品台之间样品的取放和传送。

该传输系统由传动机构、导轨机构等组成。由外部电动磁力偶合机构带动里面的样品小车在导轨上移动。磁铁采用国产优质钐钴耐高温产品。真空室外部传输采用伺服电机带动，计算机控制，小车运行速度0~3 m/min可控可调、运行平稳。

（4）光电定位机构：在传输室两端及交接工位处有光电定位机构，确定小车在传输室的位置，保证在样品交接工位位置定位准确。

（5）真空获得与真空测量系统：

1）离子泵作为系统的主泵，采用400L/S的离子泵2台             

2）离子泵前级采用移动分子泵组作为系统的粗抽泵组

3）分子泵机组的接口隔断阀采用手动全金属角阀CF40

工作压强范围：极高真空~1500 Torr，烘烤温度：≤200℃，驱动方式：手动。

4）闸板阀用以隔断：a传输室与过渡室，b相邻的传输室。

主要技术参数：尺寸：CF150，工作压强范围：1×10-10 Torr～1200 Torr，烘烤温度：≤200℃，驱动方式：气动。

5）真空测量：采用热阴极电离真空计测量，量程10-2 Torr～10-11 Torr，金属规管测量一套

（6）传输室观察窗：传输室有观察窗，用以观察内部工作情况及照明共9个      

（7）真空室支架：用于支撑过渡室，由铝合金型材组装                  

（8）烘烤照明系统：传输室外面有一套照明装置，采用LED小功率照明灯在观察窗外面照射内部，用于观察真空室内部，便于样品交接。传输室外面配有烘烤带，便于驱除潮气，利于真空。

（9）三米管道焊接方案，采用内焊，使用焊接模具减少真空室的变形，保证实现管道的内焊缝。

1.7过渡室 （2套）

(1)过渡室组成

过渡室由过渡室腔体、样品传输系统及真空获得与真空测量系统组成。用于连接传输室和进样室，实现样品小车与传输室和进样室的过渡传输。

(2)过渡模块性能参数

1）极限真空：≤2×10-10 Torr；工作真空度：≤6×10-10 Torr 。

2）真空检漏漏率：≤5×10-11 Torr.L/S。

3）小车运行速度0~3 m/min可调，小车定位准确、重复性好、运行平稳。

4）进样室与过渡室交换样品后，过渡室的真空度在10分钟内恢复到≤7.5×10-10 Torr。

5）过渡室与传输室交换样品后，传输室的真空度在2分钟内恢复到≤3.8×10-10 Torr。

(3)过渡室结构：过渡室尺寸Ф150mm，长度约1000mm，腔体为卧式放置，室壁开有各种相关规格的法兰接口，腔体采用316L优质不锈钢材料制造，氩弧内焊焊接，内外表面采用特殊工艺抛光处理，表面均匀一致，各法兰均采用无氧铜密封。

（4）样品传输系统：在过渡室内有一套样品传输系统，由传动机构、导轨机构等组成。由外部电动磁力偶合机构带动里面的样品小车在导轨上移动。磁铁采用国产优质钐钴耐高温产品，样品小车一次可以放置3块样品，样品放在样品托上。真空室外部传输采用伺服电机带动，计算机控制，小车运行速度0~3 m/min可控可调。

（5）光电定位机构：在过渡室有光电定位机构，确定小车在过渡室的位置，防止闸板阀误撞小车。

（6）真空获得与真空测量系统：

1）隔断阀：用以隔断过渡室与传输室，采用沈科仪的CF150超高真空闸板阀，工作压强范围：1×10-10 Torr~1200 Torr，烘烤温度：≤200℃，驱动方式：气动。 

2）离子泵作为系统的主泵，采用400L/S的离子泵           一台 

3）离子泵前级采用移动分子泵组作为系统的粗抽泵组  （共用一套）           

4）分子泵机组的接口隔断阀采用手动全金属角阀CF40工作压强范围：极高真空~1500 Torr，烘烤温度：≤200℃，驱动方式：手动 一台                                           

5）真空测量：采用热阴极电离真空计测量、量程10-2Torr～10-11Torr，

金属规管测量

(7)观察窗：过渡室有观察窗，用以观察内部工作情况                        

（8）真空室支架：用于支撑过渡室，由铝合金型材组装                    

（9）烘烤照明系统：过渡室外面有一套照明装置，采用LED小功率照明灯在观察窗外面照射内部，用于观察真空室内部，便于样品交接。过渡室外面配有烘烤带，便于驱除潮气，利于真空。

1.8进样室 （1套）

(1)进样室组成

进样室由真空室、样品加热机构、样品库、高压等离子清洗装置、手动磁力传递机构、真空获得系统、机架、烘烤照明系统等组成。

手动打开进样室大门，把样品放进样品库内，启动真空泵抽系统达到预定真空后，打开进样室与过渡室的隔断阀门，样品就可以通过手动磁力传递机构把样品送到过渡室里面的小车上。

(2)进样室性能参数

1）进样室极限真空：≤3.8×10-8 Torr；真空检漏漏率：≤5×10-11 Torr.L/S。

2）短时间暴露大气并充干燥氮气抽至：≤5×10-7 Torr，小于30分钟。

3）进样室采用手动开门关门，可以放进3个以上2英寸及以下尺寸的样品。

4）加热装置的最高温度：≥300 ℃。

（3）进样室结构：进样室腔体尺寸约360×220×360（mm）矩形真空室，进样室侧面开门用于安放样品，胶圈密封。室壁开有各种相关规格的法兰接口，腔体采用316L优质不锈钢材料制造，氩弧内焊焊接，内外表面采用特殊工艺抛光处理，表面均匀一致，除大门外各法兰均采用无氧铜密封。

（4）样品库：进样室配备一个样品库，一次可以放进三块2英寸及以下尺寸的样品，样品库可手动升降，从进样室进样后，当进样室真空度优于5×10-7 Torr，样品传进过渡室。 进样室和过渡室之间用手动磁力杆进行传样，实现两腔体之间样品的交换。

（5）样品清洗功能：样品在进样室可以做高温除气处理，加热温度最高达到300℃，采用碘钨灯加热方式，日本产控温表控温；可对样品做高压表面等离子清洗处理，高压等离子电源电压2500V。

（6）真空获得与真空测量系统

1）隔断阀           

用以隔断：i）进样室与分子泵，ii）进样室与过渡室，分别采用CF150/CF100超高真空闸板阀，主要技术参数：尺寸：CF150，工作压强范围：1×10-10 Torr~1200 Torr，烘烤温度：≤200℃，驱动方式：气动。       

2）真空获得：采用磁悬浮分子泵、式涡旋机械泵及隔断阀             

3）真空测量:量程105～10－7Pa，金属规管测量一套    

4）波纹管路：涡旋泵与分子泵连接的金属软管接头组件、低真空旁抽管路及阀门组件                            

5）放气阀：自动放大气阀门                                        

6）工作真空节流阀                                        

（7）观察窗：进样室有一个观察窗，用以观察内部工作情况               

（8）真空室支架：用于支撑进样室，由铝合金型材组装                  

（9）照明系统：进样室内的样品加热除气用的碘钨灯兼做照明装置，用于观察真空室内部，  便于样品交接。

1.9进样传输管室（1套）

（1）进样传输管室组成：                                         

进样传输管室由进样传输管室、样品传输系统、光电定位机构、真空获得与真空测量系统、机架、烘烤照明系统等组成。

通过定位装置对各个工位进行定位，并识别所要传输的样品，使传输的样品与工位匹配，并将对应的样品准确传送到各个相应的工位。

（2）进样传输管室性能参数

1）极限真空：≤2×10-7 Torr；

2）真空检漏漏率：≤5×10-11 Torr.L/S；

3）短时间暴露大气并充干燥氮气抽至：≤5×10-6 Torr，小于40分钟；

4）小车运行速度0～3 m/min可调，小车定位准确、重复性好、运行平稳。

（3）进样传输管室结构

进样传输管室尺寸约Ф150mm，长度约3000mm，腔体为卧式放置，室壁开有各种相关规格的法兰接口，腔体直线度小于2.7mm，法兰平行度为0.1 mm，腔体采用316L优质不锈钢材料制造，氩弧内焊焊接，内外表面采用特殊工艺抛光处理，表面均匀一致，各法兰均采用无氧铜密封。

样品传输系统包括安装于真空腔体内的轨道、样品小车动力装置以及样品和小车定位标识装置等，进样传输管室有一套样品传输系统，负责将样品小车以及车上样品进行标识并对相应的工位进行匹配，从而将样品传送到指定的工位，并能实现样品小车和设备样品台之间样品的取放和传送。

该传输系统由传动机构、导轨机构等组成。由外部电动磁力偶合机构带动里面的样品小车在导轨上移动。磁铁采用优质钐钴耐高温产品。真空室外部传输采用伺服电机带动，计算机控制，小车运行速度0~3 m/min可控可调、运行平稳。

（4）光电定位机构：在传输室两端及交接工位处有光电定位机构，确定小车在传输室的位置，保证在样品交接工位位置定位准确。

（5）真空获得与真空测量系统：

1）真空获得：采用磁悬浮分子泵、干式涡旋机械泵及隔断阀              

2）闸板阀用以隔断：进样传输管与过渡室：

主要技术参数：尺寸：CF150，工作压强范围：1×10-10 Torr～1200 Torr，烘烤温度：≤200℃，驱动方式：气动。

3）真空测量:量程105～10－7Pa，金属规管测量  英福康  

（6）进样传输管室观察窗：传输室有观察窗，用以观察内部工作情况及照明共9个      

（7）真空室支架：用于支撑过渡室，由铝合金型材组装                  

（8）烘烤照明系统：传输室外面有一套照明装置，采用LED小功率照明灯在观察窗外面照射内部，用于观察真空室内部，便于样品交接。传输室外面配有烘烤带，便于驱除潮气，利于真空。

（9）三米管道焊接方案，采用内焊，使用焊接模具减少真空室的变形，保证实现管道的内焊缝。

1.10其他要求

为保证超高真空系统的洁净，所有真空部件需经过超高真空工艺处理。选用不含硫切削液加工，去离子水清洗，高温去气，千级超净间内安装调试，最后用四级质谱仪检测残余气体成分，确定纳米真空互联管道与传输系统各单元模块的真空腔体内无污染迹象

1.11控制系统软硬件

（1）系统控制部分包括小车行走部分、真空获得等控制，可以满足小车在管道内的各种运行情况。

（2）控制系统组成包括：小车的运行、真空获得、及交接部件的动作控制以及相关的管道工艺控制（比如样品烘烤、清洗）等。

（3）小车定位精度：小车定位精度是依靠传感器及计算机控制，以保证其定位准确，且每个管道都有控制零点，防止累积误差，保证重复定位精度。

（4）小车的运行特性可控制，运行的加速曲线和减速曲线可控。小车的运行采用伺服电机控制、磁力耦合驱动，可以充分保证运行特性的平稳性，可以实现缓起缓停、恒速等控制。

（5）控制部分使用PLC控制，提供PLC原代码，所有采用的电子元器件均满足应用需求，布线符合国家标准，采用模块化布局。