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等离子清洗机（JJ2020001971）采购公告
- 信息发布日期：2020.10.05 标签： 天津市招标 清洗机招标
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加入日期： 2020.10.05 截止日期： 2020.10.06 招标业主： 南开大学 地 区： 天津市 内 容： 项目名称等离子清洗机项目编号JJ********** 公告开始日期****-**-** **:**:**公告截止日期****-**-** **:**:** 采购单位****付款方式货到后*个工作日内付款 联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看 签约时间要求到货 关键词： 清洗机 -
招标公告正文
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项目名称 等离子清洗机 项目编号 JJ2020001971 公告开始日期 2020-10-05 14:50:13 公告截止日期 2020-10-06 14:00:00 采购单位 南开大学 付款方式 货到后7个工作日内付款 联系人*** 中标后在我参与的项目中查看 联系电话*** 中标后在我参与的项目中查看 签约时间要求 到货时间要求 预 算 未公布 收货地址 南开大学津南校区信息东楼132 供应商资质要求 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件采购清单1采购商品 采购数量 计量单位 所属分类 等离子清洗机 1 台 无 品牌 HF-KEJING 型号 PCE-500W 技术参数及配置要求 主要参数 ？ 射频功率：0-500W
？ 总功率：1.5KW
？ 电源：AC220V 50/60Hz
射频电源 ？ 射频功率可在0-500W之间调节
？ 频率：13.56MHz
注：可与本公司工作人员联系选购1KW高功率等离子刻蚀清洗机
等离子腔体 ？ 8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高纯石英腔体
？ 铝制折叠式法兰来进行真空密封
？ 法兰上有一个直径为60mm的观察窗口
？ 此设备完全屏蔽射频辐射，零射频泄漏
控制面板 ？ 通过6" 彩色触摸屏，可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等
？ 仪器内部安装有一0 - 100ml/minute质量流量计，可精确地控制进气流量
真空泵（选配） ？ 仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵
？ 极限真空度为50mTorr（参考值，具体请点击）
通入气体 ？ 等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合气体等等（根据材料性质所定）
？ 不能使用易燃气体及腐蚀性气体。
可选 ？ 可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片
？ 可选购2-4通道质子或浮子混气系统
产品尺寸 600mm L×600mm W×810mm H售后服务 按国家法定或行业要求提供售后服务。 南开大学2020-10-05 14:50:13
报名地址:***
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客户咨询:400-633-1888 信息发布电话:13030031390 传真号码:010-59367999 总部地址:北京市海淀区中关村大街11号7层(100190)
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