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南方科技大学SUSTech-JC-2020-02401竞采采购公告

信息发布日期:2020.09.27 标签: 广东省招标 大学招标 
加入日期:2020.09.27
截止日期:2020.10.10
招标业主:南方科技大学
地 区:广东省
内 容:项目名称 无掩模紫外光刻机采购 项目编号 SUSTech-JC-****-***** 评审方式 最优价法 采购方式 公开竞采 公告开始时间 ****-**-** **:**:** 公告结束时间 ****-**-** **:**:** 预算(元) ******.** 备注 采 购 明 细 序号 名称
关键词: 大学
 
招标公告正文
项目名称 无掩模紫外光刻机采购
项目编号 SUSTech-JC-2020-02401
评审方式 最优价法
采购方式 公开竞采
公告开始时间 2020-09-27 10:22:41
公告结束时间 2020-10-10 10:22:41
预算(元) 650000.00
备注



序号 名称 数量 单位

1

无掩模紫外光刻机(核心货物)

1

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

技术参数:
1. 曝光波长:405nm LED(不低于18W)
2. *数字掩模板分辨率:不低于1920*1080像素,且单个像素尺寸不超过7.6um
3. *光刻精度:20X紫外物镜:2μm;50X紫外物镜:1μm(实验确保获得精度)
4. *高精度电动物镜切换线轨,可实现5X,20X,50X物镜的快速切换(<1 秒),且重复定位精度优于300nm。
5. 自动寻焦模组,精度不小于50nm。
6. 精准套刻:有,精度不小于500nm。
7. 套刻对准精度:不低于100nm
8. *套刻指引:460nm/520nm/620nm,可实时虚拟曝光投影,实现所见即所得的效果。
9. 支持基片尺寸:5mm×5mm(最小);100mm×100mm(最大)
10. 拼接台位移精度:50nm(直线光栅尺精度)
11. 拼接台行程:不小于100mm
12. 运动台绝对精度:±1μm
13. *位移台类型:闭环控制的直线驱动电动平台(无丝杠导轨,无回程差)
14. 调焦台运动行程:16mm
15. 软件:全自动光刻软件,可做线宽测量,智能位置移动。
16. *设备尺寸:不超过70厘米×70厘米×70厘米
17. 设备重量:120±10千克
18. 设备外壳:UV防护外壳
19. 附属配件:含光学平台,电脑,无线键鼠,真空泵
20. 环境控制:机体内包含电子除湿装置
星标参数为所响应产品必须满足的参数。
所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品(包括零部件),如安装或配置了软件的,须为正版软件

售后及质保要求

1.保修期
保修:设备安装后,签订交付纪要,由供应商调试合格后正式交付给用户方使用。保修期为验收合格后一年。
2. 货物安装、调试计划
2.1在合同设备到达目的地并由用户方提供了必要的安装条件和到货证明后,供应商派人到用户方处进行设备的安装、调试。
2.2 安装调试后供应商免费给用户方进行技术培训(设备介绍、操作、日常维护)。
3培训
在设备安装调试期间, 供应商免费给用户提供有关设备操作,使用,维护的专门培训。
4.技术服务
4.1在保修期内,供应商承担设备维修、部件更换、差旅等一切费用。但人为损坏和不正当操作所致的故障的维修,由用户方承担一切费用。
4.2在保修期外,免费电话技术支持和疑问解答,如果需要,供应商工程师可亲临设备现场进行维护和技术培训,相关费用由用户方承担。
5.响应时间
合同设备出现故障时,供应商确保及时维修,并确保在接到用户方服务要求,1小时内做出回应,电话指导不能排除的故障,8小时内现场进行服务,若7个工作日内无法解决问题,则提供不低于同档次的产品供采购人使用。无法解决问题,则更换不低于同档次的新产品。

付款方式 货到指定地点、安装验收合格并提供全额发票后付95%的货款;余款5%待质保期满且无质量问题并经学校确认后支付。
交货期 合同签订后50天内(自然日)
报价网址:http://jc.biddingoffice.sustech.edu.cn
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