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等离子清洗仪-CB106132020000117

信息发布日期：2020.07.13 标签：四川省招标

招标编号：	CB106132020000117
加入日期：	2020.07.13
招标业主：	西南交通大学
地区：	四川省
内容：	**** - 竞价公告 (*************) 发布时间：-- :: 截止时间：**-- :: 基本信息：申购单号：*************** 申购主题：等离子清洗仪采购单位：**** 报价要求：进口

招标公告正文

西南交通大学 - 竞价公告 (CB106132020000117)
发布时间：2020-07-13 09:19:11 截止时间：2020-07-16 10:00:00
基本信息：
申购单号：CB106132020000117 申购主题：等离子清洗仪采购单位：西南交通大学报价要求：进口免税发票类型：增值税普通发票币种：人民币预算
签约时间：发布中标结果后45天内签约合同送货时间：合同签订后75天内送达安装要求：免费上门安装（含材料费）收货地址：***
付款方式：双方签订技术协议时自行约定备注说明：
申购明细：
序号
1
采购内容
等离子清洗机
数量
1台
预算单价
品牌 Diener
型号 ATTO手动
规格参数 1. *手动控制模式 2. *根据工艺要求不同，手动设定真空泵启动与停止、功率、压强、气体流量与时间等参数 3. 双路工作气体O2、Ar、NH3、CF4等，防腐浮球气体流量计，量程0-50sccm 4. 皮拉尼真空计，控制腔体压力，量程0~9.99mbar 5. *反应舱石英，直径211 mm ，长300mm.容积为10.5L . 6. CCP发生器13.56MHZ,功率0-300W，自动匹配反射波，0-100%无极可调。 7. 360度环绕电极 8. 防腐处理,腔体、管路、密封件防腐处理,设备可以对应NH3,CF4,SF6... 9. 单体导入模块，HMDSO亲水、疏水涂层工艺(真空泵防腐），H2O等离子工艺，F涂层工艺(真空泵防腐） 10. 真空泵的排气能力为普通油泵8 m3/h，防腐油泵16m3/Hour,配有强制进气阀 11. 外尺寸：搭配铰链门，425*450*275mm 12. 电源电压：单相AC230V 16A 13. 标配Value双级油式真空泵VRD-8，排气速度8 m3/h，极限真空度0.5 Pa，电机转速1440rpm，进/排气口KF16，电源单相AC220V。 14. 标配Leybold防腐型双级油式真空泵D16BCSPFPE，排气速度16.5 m3/h，极限真空度2.5E-3 mbar，进气口KF16，电源单相AC220V。
质保及售后服务 1、按行业标准提供服务； 2、是否要求本地有售后服务网点：（B） A.是 B.否；3、自设备验收之日起一年质保期（不包括备件、易损耗品），终生维护；4、新设备需上门安装调试；5、售后问题24小时内响应，48小时内上门维修解决。 “本地”指采购单位所在省级行政区域；有售后服务网点的证明材料包括：参与竞价公司营业执照，当地某公司营业执照以及该当地公司与参与竞价公司之间签订的有效合作协议。本地供应商无需上传证明文件；外地供应商需上传当地服务网点证明文件压缩包。报价地址：https://www.easyjcx.com/#/index

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