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2020.07.10招标公告
> 双面光刻机-CB106132020000115
双面光刻机-CB106132020000115
信息发布日期:2020.07.10 标签:
四川省招标
光刻机招标
招标编号:
CB106132020000115
加入日期:
2020.07.10
招标业主:
西南交通大学
地 区:
四川省
内 容:
基本信息: 申购单号:***************** 申购主题:双面光刻机 采购单位:****** 报价要求:国产含税 发票类型:增值税普通发票 币种:人民币 预算:****** 签约时间:发布中标结果后*天内签约合同 送货时间:合同签订后**天内送达 安装要求:免费上门安装(含材料费)
关键词:
光刻机
招标公告正文
基本信息:
申购单号:CB106132020000115 申购主题:双面光刻机 采购单位:西南交通大学 报价要求:国产含税 发票类型:增值税普通发票 币种:人民币 预算:******
签约时间:发布中标结果后7天内签约合同 送货时间:合同签订后60天内送达 安装要求:免费上门安装(含材料费) 收货地址:***
付款方式:货到验收合格后付款 备注说明:
WSJJ-2020-012
申购明细:
序号
1
采购内容
双面光刻机
数量
1台
预算单价
品牌 中科院光电所
型号 URE-2000S/35L(B)
规格参数 1. 曝光面积:4 英寸; 2. 光 源:紫外 LED; 3. 曝光波长:365nm:20-40mW/cm2 ; 4. 分辨力:1μm ; 5. 正面对准采用双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,光学+电子放大800倍,物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍;目镜三对:4 倍、10 倍、20 倍; 6. 底面面对准:采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像,物镜轴距范围 10mm-148mm;对准精度:± 2 μm(双面,片厚 0.8mm);±0.6μm(单面); 7. 掩模尺寸:3 英寸、4 英寸、5 英寸; 8. 样片尺寸:2 英寸、3 英寸、4 英寸; 厚度 0.1mm--2mm(双面); 9. 曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量; 10. 照明不均匀性: 2.5%(φ100mm 范围); 11. 掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6度; 12. 具备压印模块接口,也具备接近模块接口; 13. 最大胶厚:400μm; 14. 光源平行性:2° 。
质保及售后服务 1、按行业标准提供服务; 2、是否要求本地有售后服务网点:(B) A.是 B.否 “本地”指采购单位所在省级行政区域;有售后服务网点的证明材料包括:参与竞价公司营业执照,当地某公司营业执照以及该当地公司与参与竞价公司之间签订的有效合作协议。本地供应商无需上传证明文件;外地供应商需上传当地服务网点证明文件压缩包。
严正声明:未经本平台授权,严禁以任何形式转载或使用本平台数据,一经发现,依法追究法律责任。
报价地址:https://www.easyjcx.com/#/index
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