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高通量射频电源-CB105902020000465

信息发布日期：2020.06.23 标签：广东省招标

招标编号：	CB105902020000465
加入日期：	2020.06.23
招标业主：	深圳大学
地区：	广东省
内容：	申购单号：*************** 申购主题：高通量射频电源采购单位：报价要求：国产含税发票类型：增值税专用发票币种：人民币预算：**** 签约时间：发布竞价结果后天内签约合同送货时间：合同签订后*天内送达安装要求：免费上门安装（含材料费）收货地址：

招标公告正文

申购单号：CB105902020000465 申购主题：高通量射频电源采购单位：深圳大学报价要求：国产含税发票类型：增值税专用发票币种：人民币预算：******
签约时间：发布竞价结果后7天内签约合同送货时间：合同签订后120天内送达安装要求：免费上门安装（含材料费）收货地址：***
付款方式：货到验收合格后付款备注说明：
申购明细：
序号
1
采购内容
高通量射频电源
数量
1台
预算单价
品牌 AE
型号 61300047
规格参数 1、射频电源功率≥500W，带有自动匹配的匹配器和控制器 2、射频频率为13.56MHz，频率波动≦+/- 0.005 % 3、射频电源输出功率的精度优于满量程的+/-1%或者度数的+/-3% 4、电源长时间输出稳定性优于+/-0.5% 5、输入功率：90-125V或190-264V，1P 47-63Hz； 6、阻抗（Ohm）≦50 Ohm 7、射频输出接头：N-type ( fem. ) 8、冷却方式：风冷 9、尺寸：483(W)x500(D)x88(H) 10、配套磁控靶： 10.1、永磁磁控靶头Φ60mm 10.2、磁控靶头表面磁场强度≥3500Gs 10.3、靶内可通水冷却，关键部位绝缘处理 10.4、靶头可调整角度，角度具备刻度显示，附带自动挡板机构 10.5、磁控靶具备磁定位功能，可增大刻蚀区域，提高靶的利用率 10.6、磁控靶漏率≤1x10E-8Pa.L/S
质保及售后服务 1、免费保修_1__年； 2、2小时响应，24小时到达现场维修。报价地址：https://www.easyjcx.com/#/index

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