南方科技大学SUSTech-JC-2020-01274竞采采购公告

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技术规格及参数

一、真空指标
1、极限真空≤6×10-5pa；
2、空载从大气抽至8×10-4pa≤40分钟；
3、设备保压：停泵12小时后，真空≤5Pa。
二、功能要求
1、可实现包括金、铜、铝和铟等金属膜和聚偏氟乙烯（PVDF）等有机高分子薄膜的制备，沉积速率可控，最大膜厚不小于100μm，
2英寸范围内膜厚均匀度要求：≤1%，蒸镀厚度控制速度分辨率0.001nm/s。
2、可实现任意尺寸（小于3英寸）的基片上薄膜制备，可旋转，加热，加偏压。可360度旋转（转速1—20rpm可调）。倾斜沉积速率可调可控
，可大于10nm/s。基片温度可控，温控精度不低于1%，连续可调，最高到500℃，2英寸范围基片温度差≤1%，，蒸发过程的温度波动≤1%。
3、具备原位在线表面极化功能,加载电压大于3000V，极化场强不小于
140MV/m，极化温度不低于100℃。极化场强和温度连续可调，极化场强和温度的控制精度皆不低于1%。热极化后PVDF
薄膜的结晶度和晶型的含量分别不低于75%和96%。
4、可实现不低于4种图形薄膜的在线交替制备，样品和掩膜板距离不于0.3mm；掩膜板对准精度优于0.2mm。
5、铟蒸发速率可以稳定地控制在5nm/s左右，最大速率大于10nm/s。以5nm/s左右速率可以持续蒸镀5μm~10μm铟膜；一次加料后可持续蒸镀多个样品，累计蒸镀铟膜厚度可达20μm以上，样品表面呈光亮或面。
三、控制要求
整个系统全自动控制，支持半自动和手动模式，支持远程维护，能够进行，并能保存和提取运行记录。的逻辑程序互锁保护系统。

售后及质保要求

1.提供工艺培训，要求有专业的工艺人员现场培训，包括操作技巧、注意事项和常见材料选用等。
2.要求公司售后工程师为用户提供每年 365 天，每天 24 小时的设备相关技术支持。保修期为1年，保修期内免费维修、更换配件。要求1 小时内响应，48 小时内解决故障。
3.质保期1年。