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多源（多功能）有机金属真空沉积系统（XF-WSBX-2000235）采购公告
- 信息发布日期：2020.06.22 标签： 浙江省招标
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加入日期： 2020.06.22 截止日期： 2020.06.29 招标业主： 浙江大学 地 区： 浙江省 内 容： 项目名**源（多功能）有机金属真空沉积系统项目编号XF-WSBX-******* 公告开始日期****-**-** **:**:**公告截止日期****-**-** **:**:** 采购单位****付款方式货到付款。境内供货的，甲方在到货验收后**日内向乙方一次性支付本项目的总款项。 境外供货 -
招标公告正文
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项目名称 多源（多功能）有机金属真空沉积系统 项目编号 XF-WSBX-2000235 公告开始日期 2020-06-22 09:55:15 公告截止日期 2020-06-29 11:00:00 采购单位 浙江大学 付款方式 货到付款。境内供货的，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总款项。 境外供货需要由甲方办理进口减免税业务的，也必须以人民币报价，且包含货送到用户指定实验室前的所有费用。甲方指定的外贸代理公司在甲方到货验收后15日内向乙方指定的外方公司一次性支付款项；也可采用乙方交5%履约保证金后外贸代理公司见发货单一次性支付款项。支付方式在《技术参数及配置要求》栏内另有约定的，从其约定。 联系人*** 中标后在我参与的项目中查看 联系电话*** 中标后在我参与的项目中查看 签约时间要求 到货时间要求 成交后30天 预 算 ￥ 448,300.00 收货地址 浙江省海宁市海州东路718号浙江大学国际联合学院1A楼1楼 供应商资质要求 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件采购清单1采购商品 采购数量 计量单位 所属分类 多源（多功能）有机金属真空沉积系统 1 台 光学仪器 型号 JD-500FXC 预算 ￥ 448,300.00 技术参数及配置要求 1.系统的本底极限真空度优于8×10-5 Pa，重新抽真空可在30分钟内达到的真空度为：≤5×10-4 Pa。
2.有机蒸发源：温度可到达800℃，多源间没有温度干扰（蒸镀速率稳定）。控温精度±0.5 ℃。寿命长达1000小时以上。
3.金属蒸发源（恒流源）可蒸镀Ag、Al等金属材料：功率最大8 V/200 A，电流控制蒸发，电流控制精度误差小于5%。
4.膜厚均匀性：≤±3%
5.磁力传动的多功能旋转基片架：可安装二种形式的基片架。
(1)一种是大基片架，大基片架最大有效蒸镀面积φ200，大基片架上一次可以蒸镀一个最大φ200（可向下兼容多种规格）的大基片，也可以一次同时蒸镀38个20×15 mm规格的小基片（不可在线更换掩膜），以方便测试。
(2)一种是小基片架，基片最大尺寸35×30 mm（可下兼容多种规格）的基片，一个真空周期内，可同时蒸镀4个基片，也可分别蒸镀4种不同条件（不同材料、不同膜厚、不同掩膜图形）的基片，每个基片可安装3种掩膜，掩膜可在线（不破坏真空，在高真空下）更换，掩膜在线更换分二种方式：第一种方式：PLC控制的自动方式。第二种：手动方式（备用）。更换掩膜时不会损伤已镀好基片膜，基片与掩膜版间隙为零。转速0-60转/分。
与手套箱集成售后服务 提供全套完整的技术资料，包括详细的仪器说明书，操作手册。安装验收期间，在用户所在地对用户进行设备操作和日常维护的现场培训，包括原理，使用方法和维护方法等。; 浙江大学2020-06-22 09:55:15
报名地址:***
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客户咨询:400-633-1888 信息发布电话:13030031390 传真号码:010-59367999 总部地址:北京市海淀区中关村大街11号7层(100190)
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