南方科技大学SUSTech-JC-2020-00962竞采采购公告

品牌

无指定品牌

型号

无指定型号

技术规格及参数

一、真空指标
1、真空系统：复合分子泵+机械泵系统，气动真空阀门，“两低一高”数显复合真空计；
2、空载优于5×10-5pa；
3、空载从大气抽至1×10-4pa≤30min；
4、设备保压：停泵12小时后，真空≤5Pa。
二、功能要求
1、实现金属、氧化物、氮化物、ITO和PVDF等薄膜的制备，蒸镀厚度控制速度分辨率：0.001nm/s。2英寸范围内膜厚均匀度要求：≤±3%。
2、可实现18种材料和4种图形薄膜的在线交替制备，样品和掩膜板距离不大于0.3mm；掩膜板对准精度优于0.2mm。
3、可实现任意尺寸（小于8英寸）的基片上薄膜制备，可旋转（转速1—20rpm可调,转速可控精度20度）。基片加热温度连续可调，最高到500℃，2英寸范围基片温度差≤1%，温控精度不低于1%，蒸镀过程中温度波动≤1%。
4.在可见光区域，所制备的ITO薄膜的透过率大于90%，电阻小于3×10-4Ω·cm。
5.给出实现以上功能的详细技术方案与依据以及制备元件与电路的可选方案。
三、控制要求
1、电气控制系统采用PLC+触摸屏控制系统，可实现自动一键式抽真空；
2、控制内容：总电源、机械泵、前级阀的开与关；分子泵电源参数显示及开关控制；真空计参数显示及控制；基片台转速控制；
3、安全保护报警系统：在缺水、水压过低情况下的报警系统；在电源过流、短路等异常情况执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。

售后及质保要求

1.提供样机蒸镀工艺培训，要求有专业的蒸镀工艺人员现场培训，包括操作技巧、注意事项和常见材料选用注意事项等。提供设备样机试用时的材料,同时对各项指标进行验收，不能满足本次采购的技术要求的，买方无条件退货，中标方还应赔偿因此给买方带来的一切损失。
2.要求公司售后工程师为用户提供每年365天，每天24小时的设备相关技术支持。
3.保修期为1年，保修期内免费维修、更换配件。
4.要求1小时内响应，48小时内解决故障。