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PECVD氢化系统（GY202001173）采购公告
- 信息发布日期：2020.05.07 标签： 山东省招标
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加入日期： 2020.05.07 地 区： 山东省 内 容： 项目名称PECVD氢化系统项目编号GY********* 公告开始日期****-**-** **:**:**公告截止日期****-**-** **:**:** 采购单位**大学付款方式国产设备与家具：货到验收合格后付款 联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看 签约 -
招标公告正文
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项目名称 PECVD氢化系统 项目编号 GY202001173 公告开始日期 2020-05-07 18:09:08 公告截止日期 2020-05-12 19:00:00 采购单位 山东大学 付款方式 国产设备与家具：货到验收合格后付款 联系人*** 中标后在我参与的项目中查看 联系电话*** 中标后在我参与的项目中查看 签约时间要求 成交后5天 到货时间要求 预 算 ￥ 420,000.00 收货地址 山东大学 供应商资质要求 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件采购清单1采购商品 采购数量 计量单位 所属分类 PECVD 氢化系统 1 套 其他特种设备 品牌 待定 型号 未公开 预算 ￥ 420,000.00 技术参数及配置要求 1. 最高温度：1200℃；
2. 加热区长度：420mm；
3. 恒温区：280mm；
4. 加热元件：加热丝；
5. 温区：双温区；
6. 预加热区长度：300mm；
7. 预加热恒温区长度：160mm；
8. 滑动方式：手动滑动；
9. 温度控制：程序控温系统：50 段程序控温；精度：0.1 级；
10. 控制精度: ≤±1℃；
11. 炉管最高工作温度: ≥1200℃；
12. 气路法兰：密封法兰与管件连接的地方采用多环密封技术，在密封法兰与管外壁间形成了密封，在管件外径误差较大的情况下密封仍然有效，该密封法兰的安装只需在第一次使用设备的时候安装；
13. 气体控制方式：质量流量计；
14. 气路数量: 4 路；
15. 流量范围:氢气、氧气参考范围: 0~100 sccm；甲烷参考范围: 0~200 sccm ；氮气参考范围: 0~500 sccm（根据用户要求做气体标定）；
16. 精度：±1%F.S；
17. 响应时间: 1sec；
18. 工作温度: 5-450℃；
19. 工作压力: 进气压力 0.05-0.3Mpa(表压力）；
20. 系统连接方式: 采用 KF 快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪；
21. 规格：真空系统；
22. 真空计: 进口真空计；
23. 真空计量程: 5 x 10-5 (3.8 x 10-5) （毫巴）；
24. 进口真空泵: 双极机械泵抽速 ≥12m3h-1/7.1(50Hz),极限压力 2 x 10-3 mbar/1.5 x 10-3 Torr噪音级别 50 Hz 时 48 dB(A)、额定电压 220V；
25. 信号频率: 13.56MHz±005%；
26. 功率输出范围: 5W-500W；
27. 最大反射功率: 200W；
28. 射频输出接口: 50Ω；
29. 功率稳定度: ≤±0.1%；
30. 谐波分量:≤-50dbc；
31. 供电电压:单相交流（187V-253V)频率 50/60HZ；
32. 整机功率: ≥70%；
33. 屏幕显示: 正方向功率，匹配器电容位置，偏置电压值；
34. 2年内使用的全部专用配套零配件一整套；
35. 2年内使用的全部专用耗材一整套；
36. 本套设备为非标定制设备，在需要响应的时候，出具一套完整的方案；
37. 为了保证产品的质量和售后服务，需提供厂家授权、质保函和相关国家认定资质。售后服务 服务网点:无要求;质保期限:2年;响应时限:报修后8小时;供货时间要求:成交后5天内; 报价地址：http://zcgl.sdu.edu.cn/provider/#/enquiry/1665374523522A916FCC4E7CEFE7F952/bid2020-05-07 18:09:08
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客户咨询:400-633-1888 信息发布电话:13030031390 传真号码:010-59367999 总部地址:北京市海淀区中关村大街11号7层(100190)
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