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旋涂仪-CB102922019000121

信息发布日期：2019.11.29 标签：江苏省招标常州市招标

招标编号：	CB102922019000121
加入日期：	2019.11.29
招标业主：	常州大学
地区：	常州市
内容：	申购单号：*************** 申购主题：旋涂仪采购单位：报价要求：进口免税发票类型：增值税专用发票币种：人民币预算：** 签约时间：送货时间：-- 安装要求：免费上门安装（含材料费）收货地址：省/*//*** 我要报价

招标公告正文

申购单号：CB102922019000121 申购主题：旋涂仪采购单位：常州大学报价要求：进口免税发票类型：增值税专用发票币种：人民币预算：******
签约时间：送货时间：2019-12-06 安装要求：免费上门安装（含材料费）收货地址：***
付款方式：货到验收合格后付款备注说明：
采购项信息：打印模式
采购项1
采购项

旋涂仪
品牌

迈可诺
型号

WS-650Mz-23NPPB
数量

1
技术参数

技术参数及规格要求：
1、腔体尺寸：9.5英寸 (241 毫米)；
2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直径的材料，方片125x125mm；
3、转动速度：0-12,000rpm，
4、旋涂加速度：0-12,000rpm/sec；
5、马达旋涂转速：稳定性能误差＜ ±1％；
6、转速调节精度：＜0.2rpm，重复性＜ 0.2rpm；
7、工艺时间设定：1-5999.9 sec/step 0.1 精度；
8、★匀胶机材质：NPP天然聚丙烯材质，抗腐蚀性和抗化学物性，美观大方；
9、★高精度数码控制器：PLC控制，设置点精度小于0.006％。
10、程序控制：可存储20个程序段，每个程序段可以设置51步不同的速度状态；
11、★分辨率：分辨率小于0.5转/分，可重复性小于±0.5转/分，美国国家标准技术研究院（NIST）认证过的，并且无需再校准！
12．电子绝缘负载双保护装置；
13．嵌锁的安全盖板；
14．防腐装置；
15．★保护气体装置：旋涂过程中可以充氮气和压缩气体，对旋转马达进行气流保护；
16．配套真空泵系统：无油型 220~240伏交流，50/60赫兹；
17．真空泵参数：25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)，抽速：4.5 SCFM (0.11 立方米/分钟) 。
18、★配套分析软件：SPIN3000操作分析软件；
19、原装进口水平测试仪；
20、两袋密封圈；
21、废液接收单元；
22、原装进口品牌，必须原厂代理或授权证书
质保及售后服务

按行业标准提供服务
含税含运费，一年免费质保，用户手册随机
单项预算

单位

报价地址：***

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