西安某学院整体叶盘抗冲蚀涂层等离子体制备设备电源、控制及工艺系统采购项目单一来源公告

货物名称

技术要求

计量

单位

数量

交货

时间、地点

整体叶盘抗冲蚀涂层等离子体制备设备电源、控制及工艺系统

★主弧电源：电压0—200 V，电流：0—200 A，脉宽：1.2 ms。

★触发电源：7 kV，脉宽约12μs。

★抑制电源（负压）：600 V。

★高压电源：0—12 kV。

★工作频率：1—25Hz。

★ 脉冲磁场电源：电流2-15A，占空比2-10%，频率13.33HZ，直流成分0-2.5A。

★磁过滤沉积电源要求：弧电源功率5KW，弧电流0-150A，稳弧电压20-40V。直流负压电源功率10KW，电压0-1000V，占空比0-90%。

★工艺要求1：离子注入可实现叶盘双面同时注入，束流方向与叶尖夹角30-45⁰，离子束流大于5.5mA，阴极靶材寿命大于18小时，沉积时进气边配两套磁过滤系统，出气边配一套磁过滤系统。磁过滤系统为45和90度两类系统，磁场强度0-10mT。

★工艺要求2：阴极靶材为直接/间接水冷，靶材直径为100mm，高度40mm，100A电流下工作时间不低于15h。

★工艺要求3：沉积时真空室内温度不低于500⁰C,采用铠装加热方式。

★工艺要求4：单个叶盘进气边叶尖沉积厚度20 微米的金属或者氮化物时间不超过20h，膜层硬度大于2400HV，结合强度大于60N，三个磁过滤系统能同时工作，沉积金属时真空度好于4×10^-3pa。

★工艺要求5：同时工作时真空度好于4×10^-3pa ，沉积氮化物时真空好于 1×10^-2pa。

套

1

合同签订后  90日内交付使用、陕西省西安市

说明

1. 投标人须对所投包内所有产品和数量进行投标报价，否则视为无效投标。

2. 运杂费含在报价内。