加入日期: | 2019.11.20 |
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截止日期: | 2019.11.23 |
招标业主: | 中国科学院光电技术研究所 |
地 区: | 成都市 |
内 容: | 基本信息: 申购单主题: SG*************紫外单面光刻机 申购单类型: 竞价类 设备类别: 电子设备 使用币种: 人民币 竞价开始时间: ****-**-** **:** 竞价结束时间: ****-**-** **:** 申购备注: 申购设备详情: 设备名称 数量 单位 品牌 型号 是 |
关键词: | 光刻机 |
基本信息: | |
申购单主题: | SG2019008540001紫外单面光刻机 |
申购单类型: | 竞价类 |
设备类别: | 电子设备 |
使用币种: | 人民币 |
竞价开始时间: | 2019-11-20 22:22 |
竞价结束时间: | 2019-11-23 22:31 |
申购备注: | |
申购设备详情: |
设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
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SG2019008540001紫外单面光刻机 | 1 | 套 | 中国科学院光电技术研究所 | URE-2000B 型光刻机 | 是 | 按行业标准提供服务 | 技术参数 ? 曝光面积:100mmX100mm ? 曝光波长:365nm ? 分辨力:0.8um(胶厚2um 的正胶) ? 对准精度:正负0.6um ? 掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm ? 掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸 ? 样片尺寸:直径15mm-- 100mm(各种不规则片) 厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm) ? 曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量 ? 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能 ? 照明不均匀性: 2.5%(100mm 范围) ? 双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数400 倍, 光学+电子放大800 倍 物镜3 对:4 倍、10 倍、20 倍; 目镜3 对:10 倍、16 倍、20 倍 ? 调平接触压力通过传感器保证重复 ? 数字设定对准间隙和曝光间隙 ? 具备压印模块接口,也具备接近模块接口 ? 最大焦厚:600um ? 光源平行度:1.2o ? 曝光能量密度:>20mW/cm2 ? 汞灯功率:1000W(直流,进口) | 无 |