台式扫描电镜

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台式扫描电镜

1.放大倍率：*彩色光学显微镜放大20-120倍；电子放大80--45,000倍，（可数字放大12倍）；

2. *仪器分辨率：优于25nm；

3.加速电压：5kV；

4. *灯丝材料：CeB6，灯丝寿命：约1500h；

5. *样品台移动控制方式：自动样品台控制，X轴 18cm，Y轴18cm；

6. *图像观测导航界面：必须具有彩色光学导航界面与电子导航界面；

7.检测信号：背散射电子；

8.观察模式：全面模式(形貌和成份)、形貌模式A（3D）、形貌模式B（3D）；

9.图像格式：TIFF、JPEG；

10.真空系统：隔膜泵，涡轮分子泵；

11.数据存储：移动硬盘或者电脑网络存储；

12. *防震设计：探头，样品台，和灯丝固定在一起，外界晃动不会引起相对运动,电镜成像不受震动影响；

13.标准样品杯：适用于30nm高分辨成像，不仅适用于粉末，薄膜，同时适用于不规则形状三维样品。最大样品尺寸：直径38.1mm，高30mm；

14.  *可以提供下面的选配件：

（1）*降低充电效应样品杯：无需喷金，可直接观察不导电样品，从而保证获得样品的原始形貌和成分信息。最大样品尺寸：直径25mm，高30mm。

（2）金相样品杯：在显微图像观察中，获得表面平滑的样品的常规办法是镶嵌和抛光等技术。例如，金相样品杯可用于观察镶嵌在树脂等材料中的样品。最大样品尺寸：直径32mm，高30mm.

（3）微型电子器件插件：采用特制夹具将微型电子器件、太阳能电池以及其他晶片状材料固定在样品杯中，使其免遭破坏。测试后，样品可以完好无损的取下，重新回到制备环节中去，或者参与其他损耗检测。

（4）微型工具样品杯：适用于钻头、针头、纤维等长度较长，并且有角度要求的样品成像。样品可直接装进样品杯，无需其他辅助工具。最大样品尺寸：直径10mm，高100mm.倾斜：-5°-- +40°.旋转角度±35°。

（5）X—断面观测插件：适合于涂层以及多层半导体器件等断口、断面的观测，于传统的耗时又费钱的树脂镶嵌相比，这种办法简单而快速，且不需要螺丝等其他工具来固定样品。

15.  *可以选配,提供下面拓展功能：

（1）自动全景图像拼合：自动全景图像拼合模块使得用户可以得到大范围的高分辨图像，用户只需要在总览图中定义扫描区域，自动全景图像拼合模块将自动开始以指定的分辨率对该区域进行扫描。所得图像将拼合成一幅全景图像加以保存，并可进行进一步的观测。所有图片也将分别保存。

最大8.07mm的超大视野（FOV），完全呈现样品全貌。

达到一亿像素的超高分辨率。

自动采集图像，每分钟可采集超过100张1024X1024分辨率的图像。

简明的单页用户界面，操作简便。

可与纤维系统联用。

（2）3D粗糙度重建模块：是台式扫描电镜可以具有的强大图像处理工具。借助3D粗糙度重建模块，可产生样品的3D还原图，帮助用户更加细致的分析样品形貌，并进行亚微米量级的粗糙度测量。

  自动创建3D图像（全3D图像、2D或3D图像，通过颜色指示高度、过滤后的3D图像）；3D图像可任意旋转；自动粗糙度测量（平均粗糙度Ra和粗糙高度Rz、用户可设定波纹过滤、支持5线同时测量）；比光学或机械测量手段优秀（高分辨率高精度、不破坏样品）；不需要倾斜样品；几秒之内完成3D重建。

  适合纹理分析，缺陷及失效分析，摩擦学-磨损分析，机械加工的质量控制，证物鉴定等。

（3）纤维系统：可快捷简单地获得微米纳米纤维的精确尺寸信息。

与费时耗力且精确度难以保证的手动测量相比，纤维系统的自动图像表征功能，可以在几秒内完成数百次测量，提供更加精确的数据。每张图片测量1—1000组数据，自动生成统计数据。可以观察和测量从纳米到微米量级的纤维。

 适用于过滤网膜、织物、造纸。

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